结构特点:
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单级式减压结构
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膜片与母体采用硬密封形式
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母体接口螺纹:1/4” NPT(F)
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安全压力:1.5倍的输入压力
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适用温度:-40oF ~ 165oF(-40oC ~ 74oC)
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泄露率:2 x 10-8 atm.cc/sec He
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CV:0.14
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重量:0.9 kg(2.0 lbs)
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材质
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母体:铜电镀,316L
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阀座:PCTFE,PTFE,Vespel?
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膜片:316L , Hastelloy? 哈氏合金
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适用范围
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半导体制程
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实验室
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气相分析
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测试仪表
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石油化学工业
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电厂设备
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