Zeta三维光学轮廓仪
Zeta-20A
卓越的三维成像和测量
基于ZDot™专利技术,Zeta-20A可以对近乎所有材料和结构进行成像分析,从超光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介质。Zeta-20A使用模块化设计理念,为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求,所有硬件安装和操作都简单易用。
多功能光学测试模组
Zeta-20A提供多种光学测试技术满足用户各种领域测试需求
• ZDotTM Z点阵专利三维成像技术是Zeta所有系列产品的标配技术,
Z点阵独特的明暗场照明方案结合不同物镜帮助客户测量最“困难”的表面。
• ZIC 干涉反衬成像技术,实现纳米级粗糙度表面的成像及分析。
• ZSI 白光差分干涉技术,垂直方向分辨率可达埃级。
• ZX5 白光干涉技术,大视场下纳米级高度的理想测量技术。
• ZFT 反射光谱膜厚分析技术,集成宽频反射光谱分析仪,可测量薄膜材料的
厚度、折射率和反射率。
测量通道和精度
光学系统参数
电脑配置要求
处理器: Intel Dual Core
操作系统: Windows 7, 64位
内存: 4GB RAM (16GB 推荐), ≥320 GB HDD
显示器: 24-inch LCD, 1920 x 1200 像素
振动要求
内置防震适用于大多数应用
可选被动和主动防震台
可选隔音罩
技术支持
质保: 一年(含人工)
软件: 两年内免费升级
使用手册: 随货附送
维修手册: 可选维修培训
校准: 权威机构认证台阶高度和膜厚标样片
厂务要求
电源: 100 – 230 VAC, 2 A
工作温度: 15° – 30° C, 非冷凝
真空 (可选): 600 mm Hg
设备尺寸(W x D x H): 36 x 48 x 61 cm
工作站尺寸: 52 x 66 x 51 cm
重量: 29.5 kg