美国捷锐U53系列减压器
产品简述:
美国捷锐U53系列减压器适用于高纯气体应用,采用内部无螺纹、非焊接膜片结构。膜片和阀体的密封采用了硬密封的设计,降低泄漏率,同时提高了安全性和使用寿命。
结构特点:
1、316L不锈钢阀体。
2、膜片式硬密封,泄漏率低。
3、可采用面板安装和后座安装。
4、压力表标准连接:1/4" FRS(M), 可选1/4" FRS(F)。
5、内部电解抛光。
6、高洁净的组装和包装适用于高洁净度的半导体行业。
7、使用寿命长。
8、100%氦气测试。
材质:
阀体:316L, Hastelloy®
阀座:PCTFE
膜片:Elgiloy®, Hastelloy®
上盖:316, Hastelloy®
功能特性:
流量:Cv=0.054
阀体泄漏率:2×10-8 atm cc/sec He
阀座泄漏率:4×10-8 atm cc/sec He
设计验证压力:最大额定压力的150%
设计爆破压力:最大额定压力的400%
工作条件:
最大的入口压力:300 psi (20 bar)
出口压力:0~30 psi (2 bar),
温度:-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流道表面:
标准:Ra 20µin
可选:Ra 10µin
内部容积:9.3 cc
产品结构尺寸: